中国山东网淄博4月1日讯 (记者 寇亚群 通讯员 崔敏 高丽静) 3月31日，首届中国(淄博)MEMS产业战略高峰论坛在淄博市举行，来自国内MEMS领域的专家学者以及企业负责人近300人参加论坛活动。论坛会上，中国工程院院士、清华大学副校长尤政作了主题为《智能微系统技术》的演讲。
据了解，MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。
论坛会上，记者了解到，淄博MEMS代工线是国内首家专业化的中试代工平台，也是山东省第一家批量生产微型传感器的专业化平台;6月通过部级成果鉴定，鉴定结果为国际先进;现已形成稳定的45个单项工艺和17个产品工艺流程。MEMS传感器产业化项目列入《中国制造2025》16个重大标志性项目。
“MEMS产业是信息产业的重要发展方向，也是传感器、智能微系统行业一个颠覆性的技术，淄博在MEMS产业发展中已经具备了产业技术和在这个行业领军的条件。”采访中尤政告诉记者，开始筹备这个项目，今天MEMS三个标志性的产品，MEMS硅微陀螺仪、继电器、硅微加速度计加速剂的下线，应该来说代表了国内的最高水平，相信一定会对山东新旧动能转换发挥非常重要的作用。
尤政院士，精密仪器系教授、博士生导师。在国内率先开展了微纳技术及其空间应用研究，在基于微纳技术的航天器功能部件微型化方面，研制了一系列具有国际先进水平的微型化、高性能的空间微系统并实现了在轨应用，为发挥清华大学国家重点学科技术研发优势与淄博国家高新区科技扶持政策优势，淄博国家高新区MEMS研究院于由山东省淄博市高新区与清华大学机械工程学院合作共建，致力于建设国内首条6寸硅基MEMS代工线，引进培养MEMS专业人才，推进MEMS技术和产品在淄博的研发和产业化，带动我国MEMS及新材料、先进制造、电子信息等相关产业的技术提升。
