华强电子网消息，此前有媒体报道，中国厂商向ASML订购的EUV光刻机多次受到阻拦无法发货。而ASML日前在官网发表公告，详细说明了COVID-19疫情给他们的业务所带来的影响。公告中显示，COVID-19的爆发对ASML的制造能力影响有限。此外，从客户的角度来看，今年对系统的需求并没有减少。但因为疫情所造成的相关效应，还是对ASML造成了部分影响。
ASML总裁兼首席执行官PeterWennink表示：“首先，由于COVID-19造成的托运和旅行限制，我们在运往中国武汉以及其他客户的DUV光刻机方面遇到了一些延误。第二，我们在供应链中遇到了一些问题，但目前这些问题已经得到解决。再加上第一批nxe：3400 C型号在最终配置中的周期比最初计划的长，这导致了发货延迟。第三，由于担心在当前情况下系统的持续运输能力，一些客户要求我们在正常工厂验收测试（FAT）之前装运这些系统，以加快EUV系统的交付。这意味着我们的收入也将会被延迟，因为最终验收将在客户现场成功安装后进行。”5月，有知情人士透露国内最大晶圆代工厂中芯国际向ASML下单了一台价值1.2亿美元的EUV设备，预计底交付，进行安装。但由于未知原因，这台EUV光刻机始终未能交付。
适逢国际形势紧张，有不少媒体猜测ASML是受到了某方势力限制，因此一再延迟交付。但从ASML的公告上看，交付延迟的原因主要是旅行限制、供应链问题和交付前的准备工作。那么也就是说，ASML向中国出口光刻机设备并没有受到疫情之外的阻拦。据中芯国际刚刚披露的年报显示，其在先进製程研发方面取得了突破性进展。第一代14nm FinFET技术已进入量产，在四季度贡献约1%的晶圆收入，预计在稳健上量，而第二代FinFET技术平台持续客户导入。但要追上目前全球领先的7nm、5nm等制程，就需要更高端的EUV光刻机。目前全球仅有荷兰ASML能够为芯片制造商提供EUV光刻机。而且ASML的EUV光刻机的产能也比较有限，整个，ASML仅生产12台EUV光刻机。不过，ASML仅靠着这12台EUV光刻机，在就取得13.2亿美元收入。
目前，除了台积电、英特尔、三星等世界顶尖厂商在积极追逐10nm、7nm、5nm甚至更先进的制程，由于技术和资金的问题，联电和格芯已经放缓了革新的脚步，这对于中国本土的晶圆厂而言，是个不错的发展机遇。中芯国际这些年在工艺的突破频频告捷，国产芯片崛起可期。同时，中芯国际CEO梁孟松多次表示，目前中芯国际无需EUV光刻机，也能实现7nm工艺的生产，台积电第一代7nm工艺芯片也没有使用EUV光刻机，但是之后的5nm、3nm工艺的芯片制造则必须使用EUV光刻机。因此，相信如EUV光刻机能成功交付，将加快中芯国际追赶国际领先水平的脚步。（校对：Hobby）
欢迎订阅华强微电子
往期精选Editors" Choice
华为P40再次选用京东方屏幕 国产屏能否全面崛起？
陷入“虚假繁荣”？数百万5G用户并未使用5G手机！
曝光！苹果深陷 “疫情漩涡”，“供应链危机”真要来了？
马尼拉封城或促MLCC需求上涨 国产替代的重大利好？
血崩！美科技巨头一夜蒸发3200亿美元 国内企业扛起复苏大旗？
★更多劲爆内容请点击查看历史消息...
更多行业资讯可访问华强电子网-商情资讯栏目
欢迎关注华强微电子
《华强电子》杂志赠阅活动
请发送“杂志”或数字“2”了解
