盛美半导体设备(上海)有限公司成立于，是一家注册在上海浦东新区张江高科技园区、具备世界领先技术的半导体设备制造商。盛美拥有国际先进水平的自主知识产权，集研发、设计、制造、销售于一体，是一家专注于单片晶圆清洗设备、电镀铜设备、先进封装湿法设备研发及生产的公司
公司注册资本2.13亿人民币，具有高新技术企业资质，承担十一五国家科技重大专项“65-45nm铜互连无应力抛光设备研发项目”的研发和十二五国家科技重大专项“20-14nm铜互连镀铜设备研发与应用”和“45-22纳米单片晶圆清洗装备研发与应用”的研发。
盛美半导体设备（上海）有限公司发展概况
开始研发单片清洗设备，开发出 SAPS兆声波清洗技术
首台国产12英寸45nm半导体单片清洗设备进入SK Hynix (Wuxi)进行生产线测试（集成电路）。
获得SK Hynix(Korea) 首台8腔12英寸单片清洗设备订单，并于当年出货。
开发出用于抛光片/外延片的单片清洗设备（晶圆制造 ），开发出薄片清洗以及湿法去胶设备（先进封装）。
获得SK Hynix 3台8腔12英寸单片清洗设备订单（集成电路），Waferworks 4台4/6腔单片清洗设备订单（晶圆制造 ），开发出用于先进封装的湿法蚀刻设备，涂胶设备，显影设备，硅蚀刻设备（先进封装）。
获得华力微电子首台8腔体单片清洗机订单（集成电路）。
开发出TEBO无损伤兆声波清洗技术。
获得中芯国际首台8腔体单片清洗机订单（集成电路），首台电镀机进入客户端测试（先进封装）。
获得长江存储2台8腔体单片清洗机订单（集成电路），获得客户首台24腔电镀机订单（先进封装）
正式登陆美国纳斯达克(NASDAQ)，是张江首家由留学人员创办并赴美上市的高端半导体设备公司。
盛美半导体亚太制造中心隆重开业。
盛美拥有完整的自主知识产权，迄今，ACM已申请了四百多项国际专利，其中一百四十余项已获批准。主要客户有韩国海力士半导体公司，长江存储，台湾台积电，中芯国际，华力微电子，江阴长电等。盛美从开始实现消售，每两年消售额成长增加一倍。截止至4月底，公司实现销售收入共计人民币8.97亿元。
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装备展区 展位号：C08
