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紫外光刻胶 AR-N 4400/电子束光刻胶 AR-N7700/AR-P617 电子束光刻胶

时间:2023-05-21 23:45:30

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紫外光刻胶 AR-N 4400/电子束光刻胶 AR-N7700/AR-P617 电子束光刻胶

光刻胶又称抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其性质发生变化的耐蚀刻薄膜材料。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正性光刻胶、紫外负性光刻胶)、深紫外光刻胶、电子束胶、X射线胶、离子束胶等。

AR-N 4400紫外光刻胶具有感光波段:i-line(365nm)、g-line(436nm)、化学放大胶,具有非常高的灵敏度、高分辨率、高对比度的特点,得到的undercut结构,用于lift-off工艺及集成电路加工、lift-off工艺、激光干涉曝光等。

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